Molybdenmål för RF-förstoftning

May 29, 2026

Lämna ett meddelande

 

Förfrågan från Aisa Kund

Vi fick en offert via vår företagswebbplats i morse, kunden kommer från den asiatiska marknaden, och han är intresserad av vår produkt angående högrenhet Molybden radiofrekvens(RF) sputtering-mål.

Kundens produktspecifikation är en 50,8 mm (2 tum) diameter, 5 mm tjock molybdenmetallmål med en renhet på 99,95 % (3N5).

Den där molybdenförstörande målformen han frågade är ett platt cirkulärt molybdenmål, det är den vanligaste formen av runda molybdenmål.

Och hans planhetsförfrågan var planhet Mindre än eller lika med 0,05 mm, och behöver också en jämn yta som är lämplig för RF-magnetronförstoftning; och inga sprickor, porer på ytan eller oxidation som begäran.

 

00322018-06-21FC5964DF

Vilka rena molybdenmålprodukter kan vi erbjuda?

 

• Renhet: 3N5 (99,95 % renhet) - 4N (99,99 % renhet)

- Mo1: Större än eller lika med 99,95 % Mo (3N5), används huvudsakligen för industribanor, t.ex. display/solcell/allmän beläggning

- Mo2: Större än eller lika med 99,9 % Mo (3N), huvudsaklig användning för kostnads-effektiv, för allmän beläggning/dekorationsfilm

- Mo3: Större än eller lika med 99,5 % Mo (2N5), allmänt använd för låg-tillämpningar/forskningstillämpningar

- Hög ren / ultrahög renhet (4N molybden: 99,99 %), används huvudsakligen för halvledare/OLED/hög-precisionsfilmer

 

Grundläggande fysiska egenskaper (mest kritiska)

 

• Densitet: 10,2 g/cm³ (teoretiskt) ,Få porer, inte lätt att producera "pulversprutning" och onormal urladdning (båge)

• Smältpunkt: 2620 grader, extremt stabil termiskt; och inte lätt deformeras under sputtering med stark vidhäftning.

• Värmeledningsförmåga: 138–142 W/(m·K), snabb värmeavledning snabbt och bra för sputtering med hög-effekt

• Termisk expansionskoefficient: ~4,9×10⁻⁶/grad, mycket låg, och kan resultera i minimal termisk chock och dimensionsstabilitet

• Resistivitet: ~5,2 μΩ·cm, mycket bra elektrisk ledningsförmåga och stabil ljusbågsbildning

• Draghållfasthet ~540 MPa

. Vickers hårdhet ~250 HV, med viss duktilitet Process och tunnfilmsfördelar

• Målkorn 50–100 μm, säkerställer enhetlig sputtererosion och minimal partikelavgivning

 

 

 

Normal storlekstolerans för vår produkt varierar beroende på olika diametrar enligt följande

Diameter Tjocklek
φ25.4(1") 2/3
φ50.8(2") 3/5
φ76.2(3") 3/4/5
φ101.6 4/5/6
φ150 5/6/8
φ200 6/8/10

Observera:φ300 - tjocklek 8/10/12 mm , eller anpassad .

 

 
 
Dimensionstoleranser (GB/T 14592-2014 + industristandard)
Diameterintervall Diametertolerans (mm)
φ10-30 ±0.10
φ30-50 ±0.14
φ50-80 ±0.16
φ80-300 ±0.20

Please note :  >φ300: ±0,30 (förhandlingsbart)

Form- och positionstoleranser (viktigt kritiskt, påverkar sputteringslikformigheten)

 


•Molybdenskivans planhet: Mindre än eller lika med 0,03 mm/100 mm (hög-ände); Mindre än eller lika med 0,1 mm/100 mm (standard)
• Rundhet: Mindre än eller lika med 0,05 mm
• Parallellism: Mindre än eller lika med 0,05 mm

Ytråhet i ren molybden


• Standard: Ra Mindre än eller lika med 0,8 μm
• High-End: Ra Mindre än eller lika med 0,4 μm (halvledare/höga enhetlighetskrav)

 

FAQ

 

Förutom Molybden sputtering mål du kan tillhandahålla, kan andra material göra ?

Ja, vi har volfram, molybden, titan, tantal, niob, zirkonium, nickel etc icke-järnhaltiga metaller.

 

Skicka förfrågan